激光腐蚀监控仪应用过电压保护器
发布人：管理员 发布时间：2014-2-10
福建光学仪器厂和福建省光学技术研究所联合研制成功FJ-1型激光腐蚀监控仪，应用过电压保护器，最近通过了技术鉴定。该食品利用激光干涉法，在线****监控硅晶片表面膜或其它金属片膜的腐蚀过程与腐蚀终点。由于监控过程是非接触的，所以对硅片无破坏性。仪器结构简单、操作方便、性能稳定可靠，测量精度高，可用于腐蚀监控，也能用于等离子体刻蚀。是一种监控半导体器件、集成电器制作过程防止硅片腐蚀不足或过腐蚀的重要检测仪器
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